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中國國家電子級超純水標準GB/T11446.1-1997

作者:彰華水處理 瀏覽次數:3517 日期:2014.05.27
中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準
 指標\級別
 EW-Ⅰ
 EW-Ⅱ
EW-Ⅲ 
EW-Ⅳ
電阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%時間)不低於17
15,(95%時間)不低於13
 12.0   
0.5   
全矽,最大值,μg/L
2
10
50
1000
1μm微粒數,最大值,個/mL
0.1
5
10
500
 細菌個數,最大值,個/mL
0.01
0.1
10
100
 銅,最大值,μg/L
0.2
1
2
500
 鋅,最大值,μg/L
0.2
1
5
500
 鎳,最大值,μg/L
0.1
1
2
500
 鈉,最大值,μg/L
0.5
2
5
1000
 鉀,最大值,μg/L
0.5
2
5
500
 氯,最大值,μg/L
1
1
10
1000
 硝酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 磷酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 硫酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 總有機酸,最大值,μg/L
20
100
200
1000

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